羽昌科技股份有限公司-減振器,減震器
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薄板承載盤
• 高吸附力
• 高平面度、平行度研磨
• 孔隙率為20-25%
• 表面粗糙度<2.0µm
• 低電阻值抗靜電性佳多孔陶瓷
• 厚度依客戶要求,常用0.7mm、1.0mm、2.0mm
• 常用SiC及GaAs晶圓的承載、吸附及清洗
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