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奈米級高精度定位平台
技術簡介Introduction
奈米級高精度定位平台運動機構主要整合氣浮式線性馬達平台、壓電補償平台，回授系統使用多自由度雷射干涉儀量測系統，利用壓電補償平台補正線性馬達定位平台移動時之幾何誤差，且多自由度雙頻雷射干涉儀定位回授量測系統，解析度高、反應快速，因此定位平台移動速度快且定位精度高。
定位平台規格 Specifications
| X、Y軸位移行程 | 200mm×200mm |
| 驅動方式 | 線性馬達 |
| 最快移動速度 | 150mm/s |
| 回授方式 | 雷射干涉儀 |
| 量測解析度 | 0.154nm |
| 定位精度 | 50nm/200mm |
| 直線度誤差 | 50nm/200mm |
| Yaw角度誤差 | <0.5arcsec/120mm |
| Travel | 200mm×200mm |
| Drive System | Linear Brushless motor |
| Maximum Speed | 150mm/s |
| Feedback | Laser Interferometer |
| Measuring Resolution | 0.154nm |
| Accuracy | 50nm/200mm |
| Straightness | 50nm/200mm |
| Yaw | <0.5arcsec/120mm |
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