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氣浮式線性馬達運動平台
簡介:
具有XY之定位運動，其架構為H型型式，XY移動於同一平面上，可降低平台高度減少阿貝誤差，導軌使用陶瓷多孔材質之氣浮軸承所組成之氣浮導軌，其氣浮穩定性較佳，驅動裝置及回授裝置使用線性馬達搭配光學尺，此平台運動結構摩擦力小，具有快速移動，精度高，整定時間快等優勢。
應用:
曝光機載台，影像量測載台
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