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| 平台尺寸 | 65mmX80mm | 65mmX80mm | 80mmX80mm | 80mmX80mm | 100mmX100mm | |
| 位移行程 | 25mm | 40mm | 30mm | 50mm | 50mm | |
| 解析度 | 1.0um | 1.0um | 1.0um | 1.0um | 1.0um | |
| 定位精度 | ±50um/300mm | ±50um/300mm | ±50um/300mm | ±50um/300mm | ±50um/300mm | |
| 重複精度 | ±1um | ±1um | ±1um | ±1um | ±1um | |
| 載重 | 5Kg | 5Kg | 5Kg | 5Kg | 5Kg | |
| 重量 Kg | 1 kg | 1.1 kg | 1.2 kg | 1.5 kg | 2.1 kg | |
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