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羽昌科技股份有限公司-減振器,減震器,氣壓式避震器,主動式避震器

差別不在精度，在有沒有接觸

滾動導軌靠滾珠或滾柱承載，運動時金屬與金屬接觸；氣浮導軌靠一層數微米厚的壓縮空氣把移動件托起來，完全不接觸。這一個差別，決定了後面所有的優劣。

氣浮導軌的三個決定性優勢

• 沒有靜摩擦，所以沒有爬行。滾動導軌在極低速或微小位移時會出現 stick-slip（頓挫爬行）——指令下去先不動，累積到一定推力才突然跳一段。要做奈米級定位或等速掃描，這是致命問題。氣浮沒有接觸，也就沒有靜摩擦，微米以下的平滑運動才做得出來。
• 沒有磨耗，所以精度不會隨時間衰減。滾動元件會磨損，導軌精度會隨使用時數下降，也會產生微粒。氣浮無接觸，理論上不磨耗，也不掉屑。
• 平均化效應。氣膜跨越一定面積，導軌表面的局部起伏會被氣膜平均掉，所以氣浮件的運動平直度往往優於導軌本身的加工精度。滾動導軌則會忠實複製表面缺陷。

但氣浮不是全面比較好

怎麼判斷該用哪一種

選氣浮的情況

• 定位解析度需求在 100 nm 以下，或需要極平滑的等速掃描
• 無塵室環境，不能有磨耗微粒（晶圓、面板、光學檢測）
• 需要長時間維持精度，不希望隨使用時數衰減
• 負載輕且分布均勻，運動方向單純

選滾動的情況

• 負載重、或有明顯的側向力與力矩（懸臂、偏心負載）
• 需要垂直方向運動或斷電後自鎖
• 行程長、成本敏感
• 現場沒有穩定的乾淨氣源
• 精度需求在微米等級即可滿足

導入氣浮前必須先確認的四件事

• 氣源品質。壓縮空氣必須乾燥、無油、過濾到次微米等級。水氣或油氣進入節流孔會造成阻塞，氣膜厚度改變，精度直接失效。這是氣浮系統最常見的故障原因。
• 斷氣保護。供氣中斷時移動件會直接落在導軌面上，高速運動中斷氣會刮傷兩邊。要有壓力偵測與緊急停止，或設計機械式保護塊。
• 導軌面的精度與材質。氣膜只有數微米厚，導軌面的平面度與表面粗糙度直接決定性能。這也是氣浮導軌常搭配花崗石或陶瓷基座的原因——這兩種材料能做到需要的平面度，且熱穩定。
• 真空環境不適用。標準氣浮會漏氣到腔體，真空環境需要差動排氣設計，複雜度與成本大幅上升。

下一步

羽昌科技提供氣浮結構件與量具、陶瓷氣浮導軌、花崗石與陶瓷基座，並承接客製化設計與製造。若你正在評估某段運動軸該用氣浮還是滾動，可以把行程、負載、解析度需求與環境條件提供給我們，我們協助評估。

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