就其本身而言，這個過程凸顯了運動準確性和平穩性方面的許多挑戰，並且需要在 10-9 mbar 的壓力下工作，這增加了複雜性。標準真空兼容系統通常只能在高達 10-6 mbar 的條件下工作。

當 Riber 的工程師負責採購替換定位系統時，該公司轉向了 HepcoMotion® 及其尺寸 34 的真空軸承。事實證明，這些完整的不銹鋼產品在高達 10-6 mbar 的真空應用中取得了巨大成功。為了達到 Riber 要求的更高真空適用性，HepcoMotion® 在密封軸承內使用了特殊的真空潤滑脂。這使得產品能夠在更高的真空度下長時間運行，而不必擔心發生故障。

Riber 現在經常使用基於 VAC SS SJ 34 C/E 的特殊軸承，結合不銹鋼無間隔滑塊 SS M 44，並安裝不銹鋼機架。

Riber 現在擁有高度可靠的解決方案，使他們有機會改變摩擦阻力以適應應用負載並保持高精度。如果要在不銹鋼有效乾燥的情況下避免微動腐蝕，低摩擦系統至關重要。室內的任何污染都會影響工藝過程，導致晶圓損失。只有 HepcoMotion® V 形導軌能夠提供 Riber 滿足此專業應用所需的信心水平。

如今，Riber 設計辦公室正在進行其他開發，涉及其他 Hepco 產品，例如我們的環 PRT2。