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真空閥⾨夾盤-晶圓型
2014-06-05
真空閥⾨夾盤-晶圓型
產業應⽤：
晶圓
材質：
鋁合⾦ (陽極處理，霧⿊、原⾊)。
不鏽鋼。
低碳鋼 (低溫⿊鉻)。
中碳鋼 (低溫⿊鉻)。
花崗岩 (表⾯染⿊) 。
PP 聚丙烯 。
尺⼨範圍：
6”、8”、12” (平⾏度0.005~0.05mm，平⾯精度0.005~0.05mm)。
模組設計：
可依客⼾需求搭配活動⽀撐架、線性滑台組。
吸盤內設計可埋入加熱棒與感溫棒模組，加熱溫度180度。
div style=" margin-bottom: 10px;"> 吸盤⾯可依製程需求貼附抗靜電泡棉、⾼密度泡棉、矽膠。
真空閥⾨模組：
真空閥⾨孔尺⼨1~2mm。
孔間距3~20mm。
抗靜電鍍膜：
ESD抗靜電鍍膜阻值105~109。
鍍膜厚度0.02~0.04mm，可耐溫約200度。
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